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发明名称
GAS INJECTION SLIT NOZZLE FOR A PLASMA PROCESS REACTOR
摘要
申请公布号
KR100485015(B1)
申请公布日期
2005.06.16
申请号
KR19970031637
申请日期
1997.07.09
申请人
发明人
分类号
H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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