研磨头及研磨装置

摘要

一种研磨头，包括：与研磨衬垫的研磨面相对配置的头本体；设置在头本体下面的第1凹部；在第1凹部内大致水平地设置、可在上下方向移动的支承板；设置在从支承板的上面至第1凹部的内面上、使支承板的上面与头本体之间形成第1空间的第1膜状构件；设置在支承板下面的第2凹部；将第2凹部封闭地设置在支承板下面、与支承板之间形成第2空间、同时在下面对晶片进行保持的第2膜状构件；设置在支承板上、连通第1、第2空间的连通孔；对第1、第2空间内以相同压力进行流体加压、将晶片朝研磨衬垫进行按压的气体供给装置。

主权项

1.一种研磨头，其特征在于，包括：与研磨衬垫的研磨面相对配置的头本体；设置在所述头本体的与所述研磨衬垫相对的面上的第1凹部；在所述第1凹部内与所述研磨面大致平行地设置、可在相对于所述头本体接近分离的方向移动的支承板；设置在从所述支承板的与所述头本体相对的面至所述第1凹部的内面上、使所述支承板的所述研磨衬垫的相反侧与所述头本体之间形成第1空间的第1膜状构件；设置在所述支承板的与所述研磨衬垫相对的面上的第2凹部；将所述第2凹部封闭地设置在所述支承板的与所述研磨衬垫相对的面上、与所述支承板之间形成第2空间、同时以与所述研磨衬垫相对的面对被加工物进行保持的第2膜状构件；设置在所述支承板上、连通所述第1空间与所述第2空间的连通孔；利用流体以相同压力对所述第1空间和所述第2空间内加压、借助所述第2膜状构件将所述被加工物朝所述研磨衬垫进行按压的加压装置；以及设置在所述头本体的与所述研磨衬垫相对的面上、围住所述被加工物且与所述研磨衬垫抵接的保持器。