发明名称 | OTP器件(三) | ||
摘要 | 本发明公开了一种OTP器件,在不影响该器件可靠性的情况下尽量减小poly面积,Endcap位于A、B处的Poly减小或缩至扩散区内。本发明可提高编程前后的开启电压差和编程效率,可用于带浮栅结构的EPROM或OTP器件结构中。 | ||
申请公布号 | CN1627529A | 申请公布日期 | 2005.06.15 |
申请号 | CN200310109236.0 | 申请日期 | 2003.12.10 |
申请人 | 上海华虹NEC电子有限公司 | 发明人 | 徐向明 |
分类号 | H01L29/00;H01L29/92;H01L27/02;H01L27/115 | 主分类号 | H01L29/00 |
代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁纪铁 |
主权项 | 1.一种OTP器件,其特征在于:Endcap位于A、B处的Poly减小或缩至扩散区内。 | ||
地址 | 201206上海市浦东川桥路1188号 |