发明名称 OTP器件(三)
摘要 本发明公开了一种OTP器件,在不影响该器件可靠性的情况下尽量减小poly面积,Endcap位于A、B处的Poly减小或缩至扩散区内。本发明可提高编程前后的开启电压差和编程效率,可用于带浮栅结构的EPROM或OTP器件结构中。
申请公布号 CN1627529A 申请公布日期 2005.06.15
申请号 CN200310109236.0 申请日期 2003.12.10
申请人 上海华虹NEC电子有限公司 发明人 徐向明
分类号 H01L29/00;H01L29/92;H01L27/02;H01L27/115 主分类号 H01L29/00
代理机构 上海浦一知识产权代理有限公司 代理人 丁纪铁
主权项 1.一种OTP器件,其特征在于:Endcap位于A、B处的Poly减小或缩至扩散区内。
地址 201206上海市浦东川桥路1188号