| 发明名称 |
Method and device for inspecting active matrix substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1447673(A3) |
申请公布日期 |
2005.06.15 |
| 申请号 |
EP20040003186 |
申请日期 |
2004.02.12 |
| 申请人 |
WINTEST CORPORATION |
发明人 |
NARA, SHOJI;ITOH, MASATOSHI;OOKUMA, MAKOTO |
| 分类号 |
G01R31/00;G01R31/28;G02F1/13;G02F1/133;G02F1/1368;G09G3/00;G09G3/20;G09G3/36;(IPC1-7):G01R31/28 |
主分类号 |
G01R31/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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