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发明名称 VARIABLE HEATER ELEMENT FOR LOW TO HIGH TEMPERATURE RANGES
摘要
申请公布号 EP1540258(A1) 申请公布日期 2005.06.15
申请号 EP20030764467 申请日期 2003.07.10
申请人 AVIZA TECHNOLOGY, INC. 发明人 QIU, TAIQUING
分类号 H01L21/22;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/46;C23C16/54;F27B5/14;F27B5/18;F27D11/02;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/324;H01L21/677;H05B3/00;H05B3/06;H05B3/66;(IPC1-7):F26B3/30 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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