发明名称 OTP器件(五)
摘要 本发明公开了一种OTP器件,将电容型晶体管直接做在衬底上。采用这样的结构,使本发明在普通逻辑工艺中,不追加任何光刻及工艺步骤的情况下,即可达到内藏高密度,高性能OTP器件的目的。本发明利用Native(本征)MOS电容结构的OTP器件不仅能大大缩小版图面积,同时达到提高耐压和提高有效电容效率等功效。
申请公布号 CN1627526A 申请公布日期 2005.06.15
申请号 CN200310109233.7 申请日期 2003.12.10
申请人 上海华虹NEC电子有限公司 发明人 徐向明;胡晓明
分类号 H01L29/00;H01L29/92;H01L27/02;H01L27/115 主分类号 H01L29/00
代理机构 上海浦一知识产权代理有限公司 代理人 丁纪铁
主权项 1.一种OTP器件,包括电容型晶体管,其特征在于:将电容型晶体管直接做在衬底上。
地址 201206上海市浦东川桥路1188号