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发明名称 Oriented rhombohedral composition of PbZr1-xTix03 thin films for low voltage operation ferroelectric ram
摘要
申请公布号 EP1160870(A3) 申请公布日期 2005.06.15
申请号 EP20010110358 申请日期 2001.04.26
申请人 AGILENT TECHNOLOGIES, INC. (A DELAWARE CORPORATION) 发明人 MIRKARIMI, LAURA WILLS;AMANO, JUN
分类号 C04B35/49;C23C14/08;C23C16/40;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/8246;H01L27/105;H01L41/09;(IPC1-7):H01L27/115 主分类号 C04B35/49
代理机构 代理人
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