发明名称 | 悬臂式微机械隧道陀螺仪的换能机构 | ||
摘要 | 涉及一种采用悬臂式微机械隧道陀螺仪的换能机构。设有基座、悬臂梁、控制电极、驱动电极、检测电极和挡板;悬臂梁由前后不同截面的两段组成,宽截面的后段梁的一端接基座,驱动电极设于窄截面的前段梁的两侧;控制电极与检测电极设于后段梁的下方,在前段梁两侧的驱动电极中嵌入至少一对挡板,挡板与驱动电极之间无接触。灵敏度和精确度高、结构紧凑,具有自保护功能。 | ||
申请公布号 | CN1627042A | 申请公布日期 | 2005.06.15 |
申请号 | CN200310124163.2 | 申请日期 | 2003.12.12 |
申请人 | 厦门大学 | 发明人 | 孙道恒;王明亮;李文望;刘益芳;郑剑铭 |
分类号 | G01C19/56;G01C19/00 | 主分类号 | G01C19/56 |
代理机构 | 厦门南强之路专利事务所 | 代理人 | 马应森 |
主权项 | 1、悬臂式微机械隧道陀螺仪的换能机构,其特征在于设有基座、悬臂梁、控制电极、驱动电极、检测电极和挡板;悬臂梁由前后不同截面的两段组成,宽截面的后段梁的一端接基座,驱动电极设于窄截面的前段梁的两侧;控制电极与检测电极设于后段梁的下方,在前段梁两侧的驱动电极中嵌入至少一对挡板,挡板与驱动电极之间无接触。 | ||
地址 | 361005福建省厦门市思明南路422号 |