发明名称 并联两坐标运动平台
摘要 本发明公开了一种并联两坐标运动平台,通过两个连接体将两个直线电机和一个上层工作台、中间滑动台连接起来并被固定支承在机座上。当直线电机向同一方向作等速运动时,工作台将以直线电机同样的运动速度运动;当直线电机向相反方向作等速运动时,上层工作台将以与直线电机运动速度不同的运动速度沿与电机运动方向相垂直的方向运动。本发明运动平台的加速度可以达到15g,定位精度达到2,带宽提高到300~400Hz。本发明适合于作为高加速度、一方向行程大和一方向行程小的两坐标运动平台。
申请公布号 CN1206717C 申请公布日期 2005.06.15
申请号 CN03124271.5 申请日期 2003.04.30
申请人 北京航空航天大学 发明人 刘强;韩凤起;陈志同
分类号 H01L21/60;H01L21/66 主分类号 H01L21/60
代理机构 北京永创新实专利事务所 代理人 周长琪
主权项 1、一种并联两坐标运动平台,包括机座、盖板、连接板、直线电机、工作台、X轴光栅尺组件、Y轴光栅尺组件、X轴限位光藕组件、Y轴限位光耦组件,其特征在于还包括有两个连接体和两个连杆,第一直线电机(1)和第二直线电机(11)的定子分别通过螺钉固定在机座(12)上,第一直线电机(1)和第二直线电机(11)的动子通过螺钉分别与第一连接体(2)和第二连接体(10)固定连接,第一连接体(2)和第二连接体(10)的一端通过机座上导轨(1201)和机座下导轨(1202)与机座(12)连接,第一连接体(2)和第二连接体(10)另一端通过铰链分别与第一连杆(3)和第二连杆(9)的一端连接,第一连杆(3)和第二连杆(9)的另一端通过铰链与轴(17)和上层工作台(5)连接,上层工作台(5)通过第一上层工作台导轨(501)和第二上层工作台导轨(502)与中间滑动台(14)连接,中间滑动台(14)通过第一中间滑动台导轨(1401)和第二中间滑动台导轨(1402)与机座(12)连接,第一连接板(15)和第二连接板(16)通过螺钉固定在机座(12)上,盖板(13)通过螺钉与连接板固定连接;X轴光栅尺组件(7)的光栅尺读头架(701)通过螺钉固定在上层工作台(5)上,光栅尺读头(702)通过螺钉固定在光栅尺读头架(701)上,光栅尺(703)通过螺钉固定在中间滑动台(14)上;Y轴光栅尺组件(6)的光栅尺读头架(601)通过螺钉固定在中间滑动台(14)上,光栅尺读头(602)通过螺钉固定在光栅尺读头架(601)上,光栅尺(603)通过螺钉固定在机座(12)上;X轴限位光藕组件(4)的行程限位板(401)通过螺钉固定在上层工作台(5)上,光耦(402)通过螺钉固定在光耦支架(403)上,光耦支架(403)通过螺钉固定在中间滑动台(14)上;Y轴限位光藕组件(8)的行程限位板(801)通过螺钉固定在中间滑动台(14)上,光耦(802)通过螺钉固定在光耦支架(803)上,光耦支架(803)通过螺钉固定在机座(12)上;处于同一平面的第一直线电机(1)和第二直线电机(11)分别通过第一连接体(2)和第二连接体(10)、第一连杆(3)和第二连杆(9)与上层工作台(5)以铰链连接构成两坐标运动平台,使得第一连杆(3)和第二连杆(9)对上层工作台(5)的作用力处于同一平面上。
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