THIN FILM DEPOSITION APPARATUS,申请号EP20030787880-传众专利搜索

发明名称	THIN FILM DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号	EP1540032(A2)	申请公布日期	2005.06.15
申请号	EP20030787880	申请日期	2003.08.13
申请人	OXFORD INSTRUMENTS PLASMA TECHNOLOGY LIMITED	发明人	GEORGE, CHRISTOPHER;WATSON, MICHAEL;KNIGHT, ROBERT;HALSALL, BRIAN;JOLLY, TIMOTHY
分类号	C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/54	主分类号	C23C14/54
代理机构		代理人
主权项
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