声表面波器件的制造方法

摘要

一种制造具有压电基片和设置在所述压电基片上的叉指式换能器的声表面波器件的方法，包括下述步骤：在压电基片上形成由无机材料或有机材料制成的覆盖层，以覆盖所述叉指式换能器，以及由激光蚀刻覆盖层，以调节声表面波器件的工作频率。

主权项

1.一种制造声表向波器件的方法，其特征在于包括下述步骤：提供压电基片；在压电基片的表面上形成叉指式换能器；在压电基片上形成覆盖层，以覆盖所述叉指式换能器；以及蚀刻所述覆盖层，以提高或降低声表面波器件的频率，其中使用激光来进行所述蚀刻步骤，以减小覆盖层的厚度。