一种电子轰击型高灵敏度位敏探测器件

摘要

一种电子轰击型高灵敏度位敏探测器件，属于光电探测技术领域中涉及的一种光电探测器件。本实用新型要解决的技术问题是：提供一种电子轰击型高灵敏度位敏探测器件。解决的技术方案是：包括被探测目标、光学物镜组、电子轰击型高灵敏度位敏探测器件，在该器件中还包括光电阴极、电子光学与光电子增强系统、电子轰击型PSD器件。光学物镜组的焦面与光电阴极的接收面重合，在位敏探测器件的真空壳体内，与光学物镜组的光轴垂直，从左至右依次排列装配光电阴极、电子光学与光电子增强系统和电子轰击型PSD器件。该位敏探测器件通过管角引线与外部的电子学处理系统连接，无噪声、灵敏度高、成像质量好。

主权项

1、一种电子轰击型高灵敏度位敏探测器件，包括被探测目标、光学物镜组、电子光学与光电子增强系统，其特征在于本实用新型还包括电子轰击型PSD器件(14)；光学物镜组(10)的光轴对准被探测目标光源(9)，光学物镜组(10)的焦面与光电阴极(12)的接收面重合，装在一个真空壳体内的、从左至右依次排列安装的光电阴极(12)、电子光学与光电子增强系统(13)和电子轰击型PSD器件(14)，三者的工作面都与光学物镜组(10)的光轴垂直，构成的电子轰击型高灵敏度位敏探测器件(11)，通过管角引线与外部的电子学处理系统连接。