发明名称 BOLOMETER WITH A SERPENTINE STRESS BALANCING MEMBER
摘要
申请公布号 EP1117978(B1) 申请公布日期 2005.06.15
申请号 EP19980941891 申请日期 1998.08.31
申请人 DAEWOO ELECTRONICS CORPORATION 发明人 JU, SANG B.
分类号 G01J5/20;(IPC1-7):G01J5/20;H01L31/024 主分类号 G01J5/20
代理机构 代理人
主权项
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