| 发明名称 | 生产光学波导的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种生产光学波导的方法，其包括以下步骤：由含有偶联剂的层形成材料在基片的表面上形成基片粘附层；在该基片粘附层上形成下包层；和通过采用显影液的湿法在下包层上形成具有预定图案的芯层。 | ||
| 申请公布号 | CN1627109A | 申请公布日期 | 2005.06.15 |
| 申请号 | CN200410100353.5 | 申请日期 | 2004.12.09 |
| 申请人 | 日东电工株式会社 | 发明人 | 内藤龙介;望月周;宗和范;田河宪一 |
| 分类号 | G02B6/16;G02B1/04 | 主分类号 | G02B6/16 |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 张平元;赵仁临 |
| 主权项 | 1.一种用于生产光学波导的方法，其包括以下步骤：由含有偶联剂的层形成材料在基片的表面上形成基片粘附层；在基片粘附层上形成下包层；和通过使用显影液的湿法在下包层上形成具有预定图案的芯层。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||