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发明名称 DEFECT INSPECTING DEVICE FOR SUBSTRATE TO BE PROCESSED
摘要
申请公布号 KR100495323(B1) 申请公布日期 2005.06.14
申请号 KR20020043331 申请日期 2002.07.23
申请人 发明人
分类号 G01B11/26;H01L21/66;G01B11/30;G01N21/95;G01N21/956;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01B11/26
代理机构 代理人
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