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发明名称 SHIELDRING DEVICE IN PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20050056028(A) 申请公布日期 2005.06.14
申请号 KR20030089112 申请日期 2003.12.09
申请人 ADP ENGINEERING CO., LTD. 发明人 HUR, GWANG HO;AHN, HYUN HWAN;HWANG, YOUNG JOO;KIM, CHUN SIK
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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