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发明名称 METHOD OF DETECTING A CRACK, APPARATUS FOR PERFORMING THE SAME AND SEMICONDUCTOR CHIP FOR DETECTING THE CRACK
摘要
申请公布号 KR20050055805(A) 申请公布日期 2005.06.14
申请号 KR20030088825 申请日期 2003.12.09
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 MOON, GIL SHIN;CHANG, YOUNG UK;KIM, JOUNG YEAL
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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