| 发明名称 |
AGING UNIT AND PROCESSING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050055686(A) |
申请公布日期 |
2005.06.13 |
| 申请号 |
KR20050046175 |
申请日期 |
2005.05.31 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
TAKESHITA KAZUHIRO;NAGASHIMA SHINJI;MURAMATSU MAKOTO;MIZUTANI YOJI;YANO KAZUTOSHI;KATAYAMA KYOSHIGE |
| 分类号 |
B05C5/00;B05C9/08;B05D1/00;B05D3/04;(IPC1-7):B05C5/00 |
主分类号 |
B05C5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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