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发明名称 METHOD FOR REMOVING FOREIGN MATERIAL ACCORDING TO THE MANUFACURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050055465(A) 申请公布日期 2005.06.13
申请号 KR20030088678 申请日期 2003.12.08
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 CHOI, SUNG JIN
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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