| 主权项 |
1.一种被检查基板之检查装置,其包括有:对于接受被检查基板第1位置与检查被检查基板的第2位置而与上述第1位置不同之第2位置可选择性进行变位之检查台;以及为了以可解除之方式将上述检查台所接受之被检查基板推压至上述检查台而配置于上述检查台之一个以上之基板推压构件;上述基板推压构件系具备有在上述检查台至少从上述第1位置变位到第2位置之间,将被检查基板推压至上述检查台,而且,检查台于变位到上述第2位置后,解除被检查基板对上述检查台之推压,而退避在被检查基板之配置领域外之推压构件。2.如申请专利范围第1项之被检查基板之检查装置,其中,上述基板推压构件再包括有:配置于上述检查台之支持基座;与上述支持基座平行且相互交叉之第1及第2方向之任一方保持有间隔之复数连结臂,其系在朝上述第1及第2方向之其他方向伸展之轴线周围可摆动地支持于上述支持基座,可将上述推压构件枢轴支持在朝上述第1及第2方向之其他方向伸展之轴线的周围之复数连结臂;以及将上述推压构件,选择性变位于将上述被检查基板推压至检查台之推压位置与退避在上述被检查基板之配置领域外之退避位置之驱动机构。3.如申请专利范围第1项之被检查基板之检查装置,其中,上述检查台之上述第1位置,系相对于上述第2位置在沿着上述第1及第2方向之一方伸展之轴线的周围做角度上之变位。4.如申请专利范围第2项之被检查基板之检查装置,其中,上述检查台之上述第1位置,系相对于上述第2位置在沿着上述第1及第2方向之一方伸展之轴线的周围做角度上之变位。5.如申请专利范围第1项至第4项中任一项之被检查基板之检查装置,其中,上述检查台系于上述第1位置作成水平,于上述第2位置作成倾斜。6.如申请专利范围第1项至第4项中任一项之被检查基板之检查装置,其中,上述检查台,从上面看为四角形之形状,其系用来接受矩形的上述被检查基板,上述的基板推压构件为了分别推压上述被检查基板之复数角隅部而具有复数个。7.如申请专利范围第5项之被检查基板之检查装置,其中,上述检查台,从上面看为四角形之形状,其系用来接受矩形的上述被检查基板,上述的基板推压构件为了分别推压上述被检查基板之复数角隅部而具有复数个。图式简单说明:[第1图]为本发明之被检查基板之检查装置之侧视图,(A)表示检查台在水平位置之状态图,(B)表示检查台在倾斜位置之状态图。[第2图]为第1图所示之检查装置之检查台之外观斜视图。[第3图]为第2图所示之检查台之俯视图。[第4图]为第2图所示之基板推压构件之放大图,(A)为俯视图,(B)为正视图,(C)为侧视图。[第5图]为第4图所示之基板推压构件之放大斜视图,(A)表示基板推压构件退避在待机位置之状态图。(B)表示基板推压构件变位至推压位置之状态图。 |
