| 主权项 |
1.一种表面检查装置,其系具备有:一照相机,系具有对检查对象物扫描于主扫描方向之线性感测器,可取得画像资料;一副扫描装备,系于与前述主扫描方向垂直相交之方向将前述照相机与检查对象物作相对性移动;一演算处理装备,系对前述照相机所输出之画像资料实施演算处理而检查前述检查对象物之表面状态者;其中前述演算处理装备系具备有:一画像资料列生成装备,系将前述副扫描方向上邻接之两条主扫描线之画像资料作相加而产生画像资料列者;一判定装备,系使用前述画像资料列检查前述检查对象物之表面状态。2.如申请专利范围第1项之表面检查装置,其中前述画像资料列生成装备系将前述副扫描方向上之前述主扫描方向中之相同位置之画素之画像资料予以相加者。3.如申请专利范围第2项之表面检查装置,其中前述画像资料列生成装备系于前述副扫描方向上将相邻之两条主扫描线之画像资料中之邻接于前述副扫描方向且邻接于前述主扫描方向之四画素之画像资料作相加而取得前述画像资料者。4.如申请专利范围第1项之表面检查装置,其中前述画像资料生成装备系具备有:一线性记忆体,系将前述照相机所输出之画像资料至少记忆一主扫描线份;一加法器,系将前述线性记忆体之输出入之画像资料作相加,而取得前述画像资料列。5.如申请专利范围第1项之表面检查装置,其中前述画像资料列生成装备系于前述副扫描方向上于相邻之两条主扫描线之画像资料中将邻接于前述副扫描方向且邻接于前述主扫描方向之四画素之画像资料予以相加而产生第一画像资料列,而于前述副扫描方向上于相邻之两条主扫描线之画像资料中将相对于前述副扫描方向为倾斜状之第一方向上所邻接之两画素之画像资料相加而产生第二画像资料列,复于前述副扫描方向上于相邻两条主扫描线之画像资料中相对于前述副扫描方向为倾斜状之第二方向上之相邻两画素之画像资料相加而产生第三画像资料列者。6.如申请专利范围第5项之表面检查装置,其中前述画像资料列生成装备系具备有:一线性记忆体,系将前述照相机所输出之画像资料记忆保持至少一主扫描线份;一第一加法器,系将前述线性记忆体之输入之画像资料与一主扫描线前之画像资料相加;一第二加法器,系将前述线性记忆体之输入之画像资料与(一主扫描线+一画素)之前之画像资料相加;一第三加法器,系将前述线性记忆体之输入之画像资料与(一主扫描线-一画素)之前之画像资料相加者。7.如申请专利范围第1项至第6项之任一者之表面检查装置,其中前述判定装备系具备有:一累积装备,系将前述画像资料列中之于前述主扫描方向上之连续之多数个画素所构成之方块内之画像资料相加而算出方块内加算资料者;一相关装备,系算出前述主扫描方向上之相邻之方块内加算资料之相关値;一装备,系将前述相关値作基値判定者。8.如申请专利范围第7项之表面检查装置,其中前述判定装备系将前述方块于前述主扫描方向上各移位一画素而重复前述方块内加算与相关演算者。9.如申请专利范围第1项之表面检查装置,其中前述副扫描装备系将前述检查对象物相对于前述照相机移动于前述副扫描方向者。10.如申请专利范围第1项之表面检查装置,其中前述副扫描装备系将前述照相机相对于前述检查对象物移动于副扫描方向者。11.如申请专利范围第1项之表面检查装置,其中前述副扫描装备系将前述照相机之透镜相对于前述线性感测器移动于前述副扫描方向者。12.如申请专利范围第1项之表面检查装置,其中前述副扫描装备系将前述照相机之透镜与影像感测器相对于前述检查对象物移动于前述副扫描方向者。13.一种表面检查方法,系使用具有将检查对象物扫描于主扫描方向上之线性感测器而可得到画像资料之照相机者;其特征在于具有:将前述照相机与检查对象物相对地移动于与前述主扫描方向为垂直相交之副扫描方向之步骤;于前述照相机所输出之画像资料中将前述副扫描方向上相邻之两条主扫描线之画像资料相加而生成画像资料列之步骤;使用前述画像资料列检查前述检查对象物之表面状态之步骤。14.如申请专利范围第13项之表面检查方法,其中前述检查步骤系包括有:将前述画像资料列中之于前述主扫描方向上为连续之由多数之画素所构成之方块内之画像资料相加而算出方块内加算资料的累积步骤;于前述主扫描方向上将相邻之方块之方块内加算资料之相关値算出之相关步骤;将前述相关値作基値判定之步骤。图式简单说明:第一图为本发明之第一实施型态有关之表面检查装置之构成之方块图。第二图为第一实施型态中之副扫描方向上之相邻两主扫描线之画像资料相加而生成画像资料列之动作之说明图。第三图为第一实施型态中之演算处理器之构成之方块图。第四图为第三图所示之演算处理器之动作之说明图。第五图A,第五图B,第五图C分别为检查对象物上之各种缺陷之说明图。第六图A,第六图B为仅在一个主扫描线内存在之缺陷与和其对应之画像资料及方块内加算资料之关系之示意图。第七图A,第七图B为跨设于相邻之两主扫描线上而存在之缺陷与和其对应之方块内相加资料之关系之示意图。第八图A,第八图B为在主扫描线上跨设于相邻之画素上且跨设于相邻之两主扫描线上之缺陷与和其对应之画像资料及方块内相加资料之关系之示意图。第九图为本发明之第二实施型态之邻接于副扫描方向之两主扫描线之画像资料相加而生成画像资料列之动作之说明图。第十图A,第十图B,第十图C分别为第三实施型态中之于副扫描方向上之相邻两主扫描线之画像资料相加而生成画像资料列之变形例之说明图。第十一图为第三实施型态中之画像处理装置之构成之方块图。 |
