发明名称 缺陷修正装置及缺陷修正方法
摘要 〔课题〕本发明提供一种缺陷修正装置及缺陷修正方法,可不损伤修正面的进行高品质之修正。〔解决手段〕使气压缸15移至下降端为止后,以低速驱动 Z轴工作台3只有某设定量,令刮针19下降至接触电极图案22或玻璃基板21为止,在气压缸15位于下降端之状态,令Z轴工作台3上升,令移动件17接触止动器20,驱动X轴工作台1和Y轴工作台2,在水平方向操作刮针19,除去缺陷。
申请公布号 TWI234181 申请公布日期 2005.06.11
申请号 TW090121272 申请日期 2001.08.29
申请人 NTN股份有限公司 发明人 猿田正弘;山中昭浩
分类号 H01J9/20 主分类号 H01J9/20
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路4段279号3楼
主权项 1.一种缺陷修正装置,修正基板上之图案不良或异物混入等缺陷,其特征在于包括:针,用以除去该缺陷;以及针驱动装置,控制对应于该基板的该针之高度在既定高度,在该既定高度上以该针之前端刮除该缺陷后,除去该缺陷。2.如申请专利范围第1项之缺陷修正装置,其中,该针驱动装置包括:保持装置,保持该针;移动件,在上下方向可移动该保持装置;以及移动件驱动装置,在上下方向驱动该移动件。3.如申请专利范围第2项之缺陷修正装置,其中,还包括感测器,量测该移动件之移动量;该移动件驱动装置令移动件只下降以该感测器之输出为基准后再加上既定量之値。4.一种缺陷修正方法,修正在液晶面板之彩色滤光器基板上发生之异物混入之缺陷,其特征在于:利用移动件令针上下移动而将该针设为既定之高度,在该既定高度上以该针之前端刮除该缺陷后,除去该异物。5.一种缺陷修正方法,修正在电浆显示面板之背面面板所形成之电极图案之缺陷,其特征在于:利用对应于该面板之背面的移动件令针上下移动后,而将该针设为既定之高度,在该既定高度以该针之前端刮除该电极图案之缺陷,修正该电极图案之缺陷。图式简单说明:图1系表示本发明之缺陷修正装置之构造图。图2系表示应用本发明之彩色滤光器基板和异物之图。图3系表示应用本发明之PDP基板和电极缺陷之图。图4系表示本发明之一实施例之刮针机构之动作之图。
地址 日本