| 主权项 |
1.一种陶瓷加热器,系在非氧化物陶瓷所构成之陶 瓷基板之表面或内部形成发热体而构成者,其特征 在于: 该陶瓷基板,系将非氧化物陶瓷原料粉末实施加压 烧结,而使其含有0.05~10重量%之氧, 藉此使其漏氦量在氦检漏仪测定下为110-12~10-7Pa m3/sec(He)。 2.一种陶瓷加热器,系在非氧化物陶瓷所构成之陶 瓷基板之表面或内部形成发热体而构成者,其特征 在于: 该陶瓷基板,系将非氧化物陶瓷原料粉末和氧化物 之烧结助剂实施加压烧结,而使其含有0.05~10重量% 之氧, 藉此使其漏氦量在氦检漏仪测定下为110-12~10-7Pa m3/sec(He)。 图式简单说明: 图1系示意地显示使用本发明的陶瓷基板之陶瓷加 热器的一例之俯视图。 图2系图1的陶瓷加热器之局部扩大截面图。 图3系示意地显示使用本发明的陶瓷基板之静电夹 头的一例之截面图。 图4系图3的静电夹头之A-A线截面图。 图5系示意地显示使用本发明的陶瓷基板之静电夹 头的一例之截面图。 图6系示意地显示使用本发明的陶瓷基板之静电夹 头的一例之截面图。 图7系示意地显示使用本发明的陶瓷基板之静电夹 头的一例之截面图。 图8(a)~(d)系示意地显示图3的静电夹头之制程的一 例之截面图。 图9系示意地显示构成本发明静电夹头的静电电极 形状之水平截面图。 图10系示意地显示构成本发明静电夹头的静电电 极形状之水平截面图。 图11系示意地显示将本发明静电夹头嵌入支持容 器的状态之截面图。 图12系示意地显示使用本发明陶瓷基板的晶圆检 测器之截面图。 图13系示意地显示图12的晶圆检测器之保护电极的 截面图。 |
