发明名称 A METHOD FOR FORMING A INTER-LAYER DIELECTRIC OF A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050054027(A) 申请公布日期 2005.06.10
申请号 KR20030087302 申请日期 2003.12.03
申请人 MAGNACHIP SEMICONDUCTOR, LTD. 发明人 CHA, HAN SEOB
分类号 H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
地址