发明名称 GLASS SUBSTRATE TRANSPORTING FACILITY
摘要
申请公布号 KR20050054470(A) 申请公布日期 2005.06.10
申请号 KR20040101113 申请日期 2004.12.03
申请人 DAIFUKU CO., LTD. 发明人 MORIYA SUSUMU;UEDA KATSUHIKO
分类号 B65G49/06;B65G49/07;B65G65/04;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B65G49/06 主分类号 B65G49/06
代理机构 代理人
主权项
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