| 发明名称 |
AUTO-DIAGNOSTIC METHOD AND APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050054859(A) |
申请公布日期 |
2005.06.10 |
| 申请号 |
KR20040101492 |
申请日期 |
2004.12.04 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC. |
发明人 |
COX DAMON KEITH;FREEMAN MARVIN L. |
| 分类号 |
H01L21/68;B25J9/16;G06F19/00;H01L21/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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