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发明名称
Vakuumbogen-Verdampfungsquelle und -Aufdampfeinrichtung
摘要
申请公布号
DE60019821(D1)
申请公布日期
2005.06.09
申请号
DE20006019821
申请日期
2000.01.13
申请人
KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.)
发明人
TAKAHARA, KAZUKI;FUJII, HIROFUMI
分类号
C23C14/35;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/32
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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