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发明名称 FLACHER ABTASTTISCH FÜR RASTERSONDEN-MIKROSKOPIE
摘要
申请公布号 DE69632691(T2) 申请公布日期 2005.06.09
申请号 DE1996632691T 申请日期 1996.11.27
申请人 LIEBERMAN, KLONY;LEWIS, AARON 发明人 LIEBERMAN, KLONY;LEWIS, AARON
分类号 G01B7/34;G01N37/00;G01Q10/04;G02B21/00;H01L41/09;(IPC1-7):H01L41/09 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
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