发明名称 Verfahren zum Kristallisieren von Silicium
摘要
申请公布号 DE102004028331(A8) 申请公布日期 2005.06.09
申请号 DE200410028331 申请日期 2004.06.11
申请人 LG. PHILIPS LCD CO., LTD. 发明人 YOU, JAE SUNG
分类号 H01L21/20;H01L21/268;(IPC1-7):C30B13/06;C30B13/24;C30B29/06;H01L21/84 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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