发明名称 |
Verfahren zum Kristallisieren von Silicium |
摘要 |
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申请公布号 |
DE102004028331(A8) |
申请公布日期 |
2005.06.09 |
申请号 |
DE200410028331 |
申请日期 |
2004.06.11 |
申请人 |
LG. PHILIPS LCD CO., LTD. |
发明人 |
YOU, JAE SUNG |
分类号 |
H01L21/20;H01L21/268;(IPC1-7):C30B13/06;C30B13/24;C30B29/06;H01L21/84 |
主分类号 |
H01L21/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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