| 发明名称 |
Vorrichtung und Verfahren zur Substratbeschichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60110510(D1) |
申请公布日期 |
2005.06.09 |
| 申请号 |
DE20016010510 |
申请日期 |
2001.08.10 |
| 申请人 |
SATIS VACUUM INDUSTRIES VERTRIEBS-AG, BAAR |
发明人 |
GIBSON, DESMOND |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/04;C23C14/30;C23C14/34;C23C14/50;C23C14/54;C23C16/40;H01J37/305;(IPC1-7):C23C14/30 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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