System zur Reinigung eines Prozessraumes eines Isolators

摘要

Es wird ein System zur Reinigung eines Prozessraumes (1) eines Isolators (2) vorgeschlagen, welcher eine Druckkammer mit einer Druckdifferenz gegenüber dem Umgebungsdruck bildet, mit einer Saugeinrichtung (3) zur Entfernung von Verunreinigungen aus dem Prozessraum (1) und mit einer Auffangeinrichtung (4) für diese Verunreinigungen, wobei die Auffangeinrichtung (4) sterilisierbar ausgeführt und zwischen dem Prozessraum (1) und einer Saugkammereinrichtung (5) der Saugeinrichtung (3) angeordnet ist. Dabei sind eine Verschließeinrichtung (19) zwischen der Auffangeinrichtung (4) und der Saugkammereinrichtung (5) und eine Ansteuerung der Saugkammereinrichtung (5) derart zueinander ausgelegt, dass die Verschließeinrichtung (19) nur dann eine einen Durchlass freigebende Stellung einnimmt, wenn die Saugkammereinrichtung (5) einen Saugstrom erzeugt (Figur 1).