发明名称 Prüfmanipulator mit Drehtisch
摘要
申请公布号 DE19616809(B4) 申请公布日期 2005.06.09
申请号 DE19961016809 申请日期 1996.04.26
申请人 ADVANTEST CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 IGARASHI, NORIYUKI;SUZUKI, KENPEI
分类号 G01R31/26;G01R1/04;G01R31/28;(IPC1-7):G01R31/28;B65G49/05;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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