| 主权项 |
1、一种真空负压纳米压印方法，其特征在于，具体步骤如下：(1)真空负压发生方法，通过真空负压工作室产生真空负压，真空负压工作室是一钢制圆柱形腔体，真空负压工作室通过软管和真空泵密封连接，真空泵与真空负压工作室之间连接真空闸门；(2)真空负压传递方法，通过紫外透明的圆形石英片窗口传递真空负压，真空负压工作室的顶部有一厚度d1毫米、直径r1英寸的圆形石英片窗口，当真空泵工作，真空闸门打开，真空负压工作室的真空达到负压；(3)真空负压柔性传递方法，为了不使真空负压在传递过程中对压力的平衡性、均匀性、与表面垂直性发生影响，圆形石英片窗口与真空负压工作室通过柔性绞链密封连接；(4)压强倍增方法，圆形石英片窗口下表面和一厚度d2毫米、直径r2英寸的圆形石英片同心紧密结合；(5)压力施加方法，真空负压工作室内部中心位置有一工作台，调节工作台高度，使真空负压工作室未工作时，纳米压印组件和压强倍增圆形石英片处于临界接触，当真空闸门打开，由于是柔性绞链，压强倍增圆形石英片发生向下位移，使压强倍增圆形石英片与纳米压印组件紧密接触，压强倍增圆形石英片获得的平衡、均匀、与表面垂直的压力，施加到放置于工作台表面的纳米压印组件上，当纳米压印组件上表面受到真空负压传递下来的平衡、均匀、与表面垂直的压力，通过压印基板与工作台之间的均匀的聚四氟乙烯弹性垫，使得模仁和基板两面同时施加平衡、均匀、与表面垂直的压力，完成纳米压印模仁和基板紧密压合工艺过程。 |
