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发明名称 Lithographic projection apparatus
摘要
申请公布号 EP1052548(B1) 申请公布日期 2005.06.08
申请号 EP20000303145 申请日期 2000.04.14
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 SEGERS, HUBERT MARIE;BOON, RUDOLF MARIA;BIJNAGTE, ANTON ADRIAAN;JACOBS, FRANCISCUS MATHIJS
分类号 G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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