具有良好蚀刻加工性的荫罩用Fe－Ni合金材料

摘要

Fe-Ni合金材料，含Ni：26～27重量％、Si：0.001～0.2重量％、Mn：0.01～0.6重量％、Al：0.0001～0.003重量％、Mg：0.001重量％以下、Ca：0.001重量％以下，其余为Fe和不可避免的杂质以及0.02重量％以下的不溶于氯化亚铁水溶液的MnO-SiO₂-Al₂O₃类夹杂物、SiO₂夹杂物或MgO·Al₂O₃类夹杂物中的任意一种以上的夹杂物，而且提供了蚀刻处理时开孔形状良好的高品质的荫罩等电子材料。

主权项

1.具有良好蚀刻加工性的荫罩用Fe-Ni合金材料，其特征为，含有Ni：26～37重量％、Si：0.001～0.2重量％、Mn：0.01～0.6重量％、Al：0.0001～0.003重量％、Mg：0.001重量％以下、Ca：0.001重量％以下，其余为Fe和不可避免的杂质，并含有下列不溶于氯化亚铁水溶液的非金属夹杂物：(1)具有MnO：25～50重量％、SiO2：40～60重量％、Al2O3：5～30重量％的组成，并且满足CaO+MgO≤30重量％的MnO-SiO2-Al2O3类夹杂物和SiO2夹杂物组成的夹杂物；(2)具有MnO：25～50重量％、SiO2：40～60重量％、Al2O3：5～30重量％的组成，并且满足CaO+MgO≤30重量％的MnO-SiO2-Al2O3类夹杂物和具有MgO：5～45重量％、Al2O3：55～95重量％组成的MgO·Al2O3尖晶石夹杂物组成的夹杂物；(3)SiO2夹杂物和具有MgO：5～45重量％、Al2O3：55～95重量％组成的MgO·Al2O3尖晶石夹杂物组成的夹杂物；或(4)具有MnO：25～50重量％、SiO2：40～60重量％、Al2O3：5～30重量％的组成，并且满足CaO+MgO≤30重量％的MnO-SiO2-Al2O3类夹杂物，SiO2夹杂物和具有MgO：5～45重量％、Al2O3：55～95重量％组成的MgO·Al2O3尖晶石夹杂物组成的夹杂物。