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发明名称 RADICAL ASSISTED OXIDATION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20050053417(A) 申请公布日期 2005.06.08
申请号 KR20030086660 申请日期 2003.12.02
申请人 ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 SHIM, KYU HWAN;SONG, YOUNG JOO;KIM, SANG HOON;KANG, JIN YEONG;LEE, NAE EUNG
分类号 H01L21/205;F27B5/14;F27B17/00;H01L21/00;H01L21/316;H01L21/44;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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