发明名称 Apparatus and process for fluorination treatment of substrates
摘要
申请公布号 EP1380855(A3) 申请公布日期 2005.06.08
申请号 EP20030015384 申请日期 2003.07.08
申请人 SHOWA DENKO K.K.;NIKON CORPORATION 发明人 HOSHINO, YASUYUKI;TAKI, YUSUKE
分类号 B01J19/02;C23C8/02;C23C14/58;(IPC1-7):G02B1/02;B01L5/00;G02B1/12 主分类号 B01J19/02
代理机构 代理人
主权项
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