| 发明名称 | 图案化导电聚苯胺薄膜的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种硅表面图案化导电聚苯胺薄膜的制备方法。本发明以易吸附于单晶硅片表面的有机硅烷和苯胺为原料。制备方法包括图案化自组装膜以及图案化导电聚苯胺薄膜的制备两个步骤。该方法的特点制备方法简单，产物组成易于控制，所获得的图案表面平整，边界清晰。 | ||
| 申请公布号 | CN1624872A | 申请公布日期 | 2005.06.08 |
| 申请号 | CN200310119329.1 | 申请日期 | 2003.12.04 |
| 申请人 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 发明人 | 陈淼;管飞 |
| 分类号 | H01L21/027;H01L21/70;H01L21/98 | 主分类号 | H01L21/027 |
| 代理机构 | 兰州中科华西专利代理有限公司 | 代理人 | 方晓佳 |
| 主权项 | 1、一种图案化导电聚苯胺薄膜的制备方法，其特征在于该方法依次包括如下步骤：A.图案化自组装膜的制备将洁净的印章浸入浓度为1mM-10mM的十八烷基三氯硅烷(OTS)单体的正己烷或无水甲苯溶液中，保持1-5s；待印章上的正己烷或无水甲苯挥发完全后，与洁净的单晶硅片表面接触10s-30s，然后用丙酮超声洗涤；B.图案化导电聚苯胺薄膜的制备以图案化的单晶硅片为工作电极，铂为辅助电极，Ag/AgCl电极为参比电极，KCl或NaCl为支持电解质，在0.05M-0.5M苯胺单体的酸性溶液中进行电化学聚合，控制溶液的PH在0--2之间，聚合完成后硅片用二次水超声清洗。 | ||
| 地址 | 730000甘肃省兰州市城关区天水路342号 | ||