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发明名称
摘要
申请公布号	JP3658727(B2)	申请公布日期	2005.06.08
申请号	JP20010103272	申请日期	2001.04.02
申请人		发明人
分类号	B29C45/26;B29C45/02;B29C45/14;B29C45/53;H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56	主分类号	B29C45/26
代理机构		代理人
主权项
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