具有埋置式结构的基片、包括该基片的显示器件、制造该基片的方法和制造显示器件的方法

摘要

制造具有埋置式结构的基片的方法，包括以下步骤：制备具有主表面的玻璃基片；通过湿法蚀刻工艺在玻璃基片的主表面制成凹槽；和在玻璃基片的主表面沉积第1材料，并用其填充凹槽，制成具有与主表面基本齐平的表面的埋置式结构，制成凹槽的步骤包括：使用包含氢氟酸、氟化铵、和盐酸或草酸的蚀刻剂进行湿法蚀刻工艺。

主权项

1.制造具有埋置式结构的基片的方法，该方法包括以下步骤：(a)制备具有主表面的玻璃基片；(b)通过湿法蚀刻工艺在玻璃基片的主表面上制成凹槽，所述凹槽满足d≥r的关系，式中，d为凹槽的深度，r为凹槽侧壁的曲率半径；以及，(c)在玻璃基片的主表面沉积第1材料，并用其填充凹槽，制成具有与主表面基本齐平的表面的埋置式结构，其中，步骤(b)包括：用包括氢氟酸、氟化铵和盐酸或草酸在内的蚀刻剂进行湿法蚀刻。