发明名称 | 固体摄像器件及其制造方法 | ||
摘要 | 本发明提供一种固体摄像器件,包括:将入射光转换成电荷的光电二极管(1),在光电二极管(1)的上部形成的第一电介质膜(82),在上述第一电介质膜(82)的上部形成的第二电介质膜(83)及第三电介质膜(21),在上述第一至第三电介质膜的任意电介质膜之间设置的中空层(9)。 | ||
申请公布号 | CN1624925A | 申请公布日期 | 2005.06.08 |
申请号 | CN200410097835.X | 申请日期 | 2004.12.02 |
申请人 | 松下电器产业株式会社 | 发明人 | 加藤良章 |
分类号 | H01L27/14;H01L27/146;H04N5/335 | 主分类号 | H01L27/14 |
代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 黄剑锋 |
主权项 | 1、一种固体摄像器件,其特征在于,包括:将入射光转换成电荷的光电转换部,在上述光电转换部的上部形成的第一电介质膜,在上述第一电介质膜的上部形成的第二电介质膜及第三电介质膜,在上述第一电介质膜至第三电介质膜的任意电介质膜之间设置的中空层。 | ||
地址 | 日本大阪府 |