发明名称 半导体装置及其制造方法以及静电放电保护电路
摘要 本发明揭示一种半导体装置,包括一电阻器,形成于一半导体层中,例如一位于绝缘层上有硅层(SOI)基底上方的硅层;一本体区,形成于一部分的半导体层中并掺杂有一第一导电性(例如n型或p型);一第一接触区,形成于半导体层并邻近本体区,其亦掺杂有一第一导电性;一第二接触区,形成于半导体层中并藉由本体区隔开第一接触区;一介电层,位于本体区上方,其由介电常数大于8的材料所形成;一电极,位于介电层上方。
申请公布号 CN1624927A 申请公布日期 2005.06.08
申请号 CN200410058229.7 申请日期 2004.08.17
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 杨育佳;胡正明
分类号 H01L29/00;H01L27/00;H01L21/00;H01L23/60 主分类号 H01L29/00
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 代理人 王一斌
主权项 1.一种半导体装置,包括:一半导体层;一本体区,形成于一部分的该半导体层中,该本体区掺杂有一第一导电性且具有一第一电阻率;一第一接触区,形成于该半导体层中且邻近于该本体区,该第一接触区掺杂有该第一导电性;一第二接触区,形成于该半导体层中且藉由该本体区而与该第一接触区相隔,该第二接触区掺杂有该第一导电性;一介电层,位于该本体区上方,该介电层包括具有一介电常数大于8的材料;以及一电极,位于该介电层上方。
地址 台湾省新竹科学工业园区