发明名称 Apparatus for remotely generating plasma
摘要
申请公布号 KR100493954(B1) 申请公布日期 2005.06.08
申请号 KR20020007721 申请日期 2002.02.09
申请人 发明人
分类号 H05H1/24;(IPC1-7):H05H1/24 主分类号 H05H1/24
代理机构 代理人
主权项
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