发明名称 ETCHING METHOD, METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050053349(A) 申请公布日期 2005.06.08
申请号 KR20040100586 申请日期 2004.12.02
申请人 SONY CORPORATION 发明人 NISHIDA TOMOYA
分类号 H01L21/3063;H01L21/306;H01L21/335;H01L21/8234;H01L27/088;H01L27/095;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3063
代理机构 代理人
主权项
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