| 发明名称 |
SECONDARY ELECTRON DETECTOR, ESPECIALLY IN A SCANNING ELECTRON MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1537595(A1) |
申请公布日期 |
2005.06.08 |
| 申请号 |
EP20030813483 |
申请日期 |
2003.06.13 |
| 申请人 |
TESCAN, S.R.O. |
发明人 |
JACKA, MARCUS;ZADRAZIL, MARTIN;LOPOUR, FILIP |
| 分类号 |
H01J37/244;(IPC1-7):H01J37/244 |
主分类号 |
H01J37/244 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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