肟衍生物及其作为潜酸的用途

摘要

新的式I或II肟衍生物∴其中m是0或1；R₁尤其是苯基、萘基、蒽基、菲基或杂芳基；R’₁是例如C₂-C₁₂亚烷基、亚苯基、亚萘基；R₂是CN；R₃是C₂-C₆卤代烷酰基、卤代苯甲酰基、磷酰基或有机硅烷基；R₄、R₅、R₁₀和R₁₁尤其是氢、C₁-C₆烷基、C₁-C₆烷氧基；R₆尤其是氢、苯基、C₁-C₁₂烷基；R₇和R₈尤其是氢、C₁-C₁₂烷基；或R₇和R₈同与其键连的氮原子一起形成5、6或7元环；R₉是例如C₁-C₁₂烷基；和A尤其是S、O、NR_7a；其可用作潜酸，特别是在光致抗蚀剂中应用。

主权项

1.式I化合物其中R₁是苯基，其未取代或被一个或多个C₁-C₁₂烷基、C₁-C₄卤代烷基、卤素、苯基、OR₆、NR₇R₈、SR₉和/或-S-苯基取代，或R₁是萘基、蒽基或菲基，其是未取代的或被C₁-C₆烷基、苯基、OR₆、NR₇R₈、SR₉和/或-S-苯基取代，R₂是CN；R₃是C₂-C₆卤代烷酰基、卤代苯甲酰基或基团Y₁、Y₂和Y₃分别独立地是O或S；R₄和R₅分别独立地是氢或C₁-C₆烷基；R₆，R₇，R₈和R₉是C₁-C₁₂烷基；R_7a是氢、苯基或C₁-C₁₂烷基，A是S、O、NR_7a或下式基团A1R₁₀和R₁₁分别独立地是R₄定义之一，R₁₆和R₁₇是未取代或被C₁-C₄烷基或卤素取代的苯基；R₁₈和R₁₉分别独立地是C₁-C₆烷基或是未取代或被C₁-C₄烷基或卤素取代的苯基；R₂₀、R₂₁和R₂₂分别独立地是C₁-C₆烷基或苯基；和Z是CR₁₁或N。