| 发明名称 |
A method of processing a workpiece |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2408701(A) |
申请公布日期 |
2005.06.08 |
| 申请号 |
GB20040025493 |
申请日期 |
2004.11.19 |
| 申请人 |
* TRIKON TECHNOLOGIES LIMITED |
发明人 |
NICHOLAS JOHN * APPLEYARD |
| 分类号 |
H01L21/3065;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/31;H01L21/683;(IPC1-7):B01J15/00;C23F1/08;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/3065 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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