流体喷射头及其制造方法

摘要

本发明提供一种流体喷射头结构及其制造方法。流体喷射头结构形成于一基材上，其包括有一气泡产生器，一用来控制该气泡产生器的功能元件，一由多晶硅所构成的第一导电线路，一流体腔，一相连通于流体腔的歧管，用以供应一流体至流体腔，以及一第二导电线路，用来电耦合于功能元件与气泡产生器之间，以及电耦合于功能元件与第一导电线路之间。其中，流体腔另包括有至少一连通至该基材表面的喷孔，而且栅极与第一导电线路形成于同一黄光暨蚀刻制作工艺(PEP)。

主权项

1.一种流体喷射头，该流体喷射头包括有：一基材；至少一气泡产生器，设于该基材上；其特征在于，该流体喷射头还包括：一由多晶硅层所构成的第一导电线路；至少一功能组件，设于该基材上，用来控制该气泡产生器，其中至少一层的该功能组件形成在做为该第一导电线路的该多晶硅层上；以及一第二导电线路，用来电耦合于该功能组件与该气泡产生器之间，以及电耦合于该功能组件与该第一导电线路之间。