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发明名称 WAFER BOATS FOR CONSOLIDATION OF POROUS SILICA LAYER
摘要
申请公布号 KR100492977(B1) 申请公布日期 2005.06.07
申请号 KR20020079112 申请日期 2002.12.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/22;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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