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发明名称 METHOD FOR ETCHING A CONDUCTIVE LAYER
摘要
申请公布号 KR100493486(B1) 申请公布日期 2005.06.03
申请号 KR19997008438 申请日期 1999.09.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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